{"product_id":"proze-technologie-fertigungsverfahren-fur-integrierte-mos-schaltungen-9783540176701","title":"Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren Für Integrierte Mos-Schaltungen","description":"\u003cp\u003e • Author(s): N. Bündgens | Günter Schumicki | T. Evelbauer\u003cbr\u003e • Publisher: Springer\u003cbr\u003e • Publisher Imprint: Springer\u003cbr\u003e • BISAC: Electronics - Microelectronics\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cb\u003eProze technologie\u003c\/b\u003e behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschlu  daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtproze  für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.\u003c\/p\u003e","brand":"Springer","offers":[{"title":"Paperback","offer_id":47615139774615,"sku":"9783540176701","price":5492.0,"currency_code":"INR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0666\/3471\/1191\/files\/9783540176701.webp?v=1775098309","url":"https:\/\/atlanticbooks.com\/products\/proze-technologie-fertigungsverfahren-fur-integrierte-mos-schaltungen-9783540176701","provider":"Atlantic Books","version":"1.0","type":"link"}