{"product_id":"silizium-halbleitertechnologie-grundlagen-mikroelektronischer-integrationstechnik-9783658423773","title":"Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik","description":"\u003cp\u003e • Author(s): Ulrich Hilleringmann\u003cbr\u003e • Publisher: Springer Vieweg\u003cbr\u003e • Publisher Imprint: Springer Vieweg\u003cbr\u003e • BISAC: Electronics - Semiconductors\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eDas Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrö en bis zu wenigen Nanometern gleichmä ig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab. \u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"Atlantic Books","offers":[{"title":"Paperback","offer_id":46445090177175,"sku":"9783658423773","price":2745.0,"currency_code":"INR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0666\/3471\/1191\/files\/9783658423773.webp?v=1769132777","url":"https:\/\/atlanticbooks.com\/products\/silizium-halbleitertechnologie-grundlagen-mikroelektronischer-integrationstechnik-9783658423773","provider":"Atlantic Books","version":"1.0","type":"link"}