{"product_id":"technologien-der-mikrosysteme-9783658374976","title":"Technologien Der Mikrosysteme","description":"\u003cp\u003e • Author(s): Ha Duong Ngo\u003cbr\u003e • Publisher: Springer Vieweg\u003cbr\u003e • Publisher Imprint: Springer Vieweg\u003cbr\u003e • BISAC: Electronics - General\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eDas Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme und vermittelt Kenntnisse zu den Prinzipien der Chipmontage. Dabei stehen u.a. die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (Löten, Kleben, Bonden) im Vordergrund. \u003c\/p\u003e","brand":"Atlantic Books","offers":[{"title":"Paperback","offer_id":46447820275863,"sku":"9783658374976","price":2745.0,"currency_code":"INR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0666\/3471\/1191\/files\/9783658374976.webp?v=1769141867","url":"https:\/\/atlanticbooks.com\/products\/technologien-der-mikrosysteme-9783658374976","provider":"Atlantic Books","version":"1.0","type":"link"}