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Mikrosysteme: Micro-Electro-Mechanical Systems (Mems)

by Dirk Zielke
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Book cover type: Paperback
  • ISBN13: 9783662712320
  • Binding: Paperback
  • Subject: N/A
  • Publisher: Springer Vieweg
  • Publisher Imprint: Springer Vieweg
  • Publication Date:
  • Pages: 205
  • Original Price: EUR 42.047
  • Language: German
  • Edition: N/A
  • Item Weight: 495 grams
  • BISAC Subject(s): Nanotechnology & MEMS

Von der Industrie, wo sie die Automatisierung von Prozessen ermöglichen und präzise Daten zur Prozesssteuerung liefern, bis hin zur Medizintechnik, wo sie für die Überwachung von Vitalparametern wie Herzschlag und Blutzucker eingesetzt werden.

Prof. Dr.-Ing. Dirk Zielke promovierte an der TU Chemnitz zur thermischen Oxidation von Molybdändisilicidschichten und war anschließend als Entwicklungsingenieur und Gruppenleiter für Mikrosystemtechnik bei der GEMAC mbH tätig. Nach einer Forschungsstation im Bereich Polymerelektronik an der TU Chemnitz übernahm er 2004 eine Professur für Werkstoffe der Elektrotechnik und Elektronik an der Hochschule Bielefeld, wo er das Mikrosystemtechnik-Labor gründete. Seine Forschungsschwerpunkte sind Inertialsensoren, Polymerelektronik und Low-Cost-/Low-Current-Auswerteelektronik.

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