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Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren Für Integrierte Mos-Schaltungen

by N. Bündgens , Günter Schumicki , T. Evelbauer
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Book cover type: Paperback
  • ISBN13: 9783540176701
  • Binding: Paperback
  • Subject: N/A
  • Publisher: Springer
  • Publisher Imprint: Springer
  • Publication Date:
  • Pages: 500
  • Original Price: EUR 74.76
  • Language: German
  • Edition: Softcover Repri
  • Item Weight: 821 grams
  • BISAC Subject(s): Electronics / Microelectronics

Proze technologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschlu daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtproze für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.

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