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Werkstückbegleitender Informationsspeicher ALS Basis Für Ein Informationstechnisches Konzept Für Halbleiterfertigungen

by Klaus-Dieter Sauter
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Book cover type: Paperback
  • ISBN13: 9783540532361
  • Binding: Paperback
  • Subject: N/A
  • Publisher: Springer
  • Publisher Imprint: Springer
  • Publication Date:
  • Pages: 118
  • Original Price: EUR 51.39
  • Language: German
  • Edition: N/A
  • Item Weight: 150 grams
  • BISAC Subject(s): Strategic Planning

Die rasche Weiterentwicklung der Mikroelektronik erfordert aus wirtschaftlichen und technologischen Gründen eine Optimierung der Chipherstellung unter fertigungstechnischen Gesichtspunkten. Neben einer Erhöhung des Automatisierungsgrades ist es besonders erforderlich, das durch die manuellen Eingriffe und den Laborcharakter bedingte Fehlerpotential in der Fertigung zu senken sowie die Ausfallsicherheit der Fertigung zu erhöhen. Mit Blick darauf werden die spezifischen Merkmale der Halbleiterfertigung analysiert und daraus die Anforderungen an ein darauf abgestimmtes informationstechnisches Konzept abgeleitet. Dabei zeigt sich, da Bediener, Leittechnik, Fertigungsgerät und Fördergut berücksichtigt werden müssen. Nach einer Strukturierung von Fertigungsdaten sowie einer Definition von Funktionsebenen und Organisationseinheiten wird ein Spektrum von Lösungen für die integrierte, automatisierte Betriebsdatenerfassung, Proze datenvorgabe und Fördergutidentifikation erarbeitet und bewertet. Für die ausgewählte Lösung wird eine Konzeption mit einem Prototyp entwickelt. Anhand von Erfahrungen aus einer Pilotimplementierung werden die Einsatzmöglichkeiten und -grenzen des Informationssystems aufgezeigt.

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